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空氣軸承定位平臺(tái)
針對(duì)先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺(tái)。領(lǐng)先同業(yè)采用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動(dòng)態(tài)反作用力平衡與慣性補(bǔ)償技術(shù)，可于千分之一秒內(nèi)達(dá)到奈米誤差內(nèi)要求，大幅減少運(yùn)動(dòng)整定時(shí)間與元件磨耗率，提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠(yuǎn)端系統(tǒng)偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設(shè)備開發(fā)時(shí)程，節(jié)省許多整合時(shí)間與成本，使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。
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